I manometri a molla Bourdon sono comunemente usati per misurare la pressione, ma ciò non significa che siano la migliore soluzione di misura della pressione per le applicazioni del settore dei semiconduttori. Un mini manometro a membrana per semiconduttori è progettato specificamente per resistere ai fluidi aggressivi e agli ambienti corrosivi presenti in alcune applicazioni ad altissima purezza.
Per l’industria dei semiconduttori, i manometri a molla Bourdon sono popolari per una serie di motivi. Prontamente disponibili e facili da usare, sono una soluzione per la misura di pressione economica per la maggior parte delle applicazioni ad elevata purezza (HP) e ultra-elevata purezza (UHP). Tuttavia, questi vantaggi non superano i potenziali aspetti negativi se utilizzati in applicazioni che richiedono gas altamente reattivi.
La corrosione: il punto debole delle molle Bourdon
Oggigiorno, molti processi per l’industria dei semiconduttori richiedono l’uso di gas altamente aggressivi per attacco e deposizione. Poiché questi gas ultra puri viaggiano dai loro serbatoi all’ambiente di processo, in caso di perdite in qualsiasi parte del sistema di erogazione del gas possono raccogliere l’umidità dall’aria ambiente. Quando i gas altamente reattivi incontrano l’acqua, diventano acidi corrosivi.
Le molle Bourdon, che normalmente sono realizzate con un metallo non passivato molto sottile (lega di rame o acciaio inossidabile), funzionano mediante flessione. Nel tempo, questo movimento crea micro fessurazioni. Queste fessure appena rilevabili non sono un problema in molte applicazioni industriali. Tuttavia, quando le fessure microscopiche entrano in contatto con acidi corrosivi, diventano rapidamente un grave problema. Molto presto, lo strumento non funziona più.
La nostra soluzione per la corrosione dei manometri nell’industria dei semiconduttori
Se un manometro per semiconduttori non utilizza una molla Bourdon per misurare la pressione, si elimina un’importante fonte di perdite. E’ proprio in questo caso che il mini manometro a membrana UHP WIKA ha un netto vantaggio. La flessione (la membrana) è realizzata in Inconel® 718, una super lega altamente resistente alla corrosione. La cassa in acciaio inossidabile 316L è completamente passivata e lucidata elettrochimicamente e tutte le parti a contatto con il fluido sono sigillate dall’atmosfera.
Mini manometri a membrana WIKA
WIKA produce due modelli mini manometri membrana ideali per i processi UHP nel settore dei semiconduttori. Ulteriori vantaggi di questi manometri sono:
- Diametri nominali di 1″ (modello 432.10) e 1,3″ (modello 432.15), ideale per applicazioni con spazio limitato
- Capacità di resistere a sostanze gassose, liquide e corrosive fino a 160 psi
- Test contro le perdite di elio per soddisfare gli standard di purezza
- Conformità agli standard SEMATECH e SEMI
Non esitare a contattarci per ulteriori informazioni nella scelta dello strumento più adatto alla tua applicazione.